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真空紫外(VUV)分光光度計

真空紫外分光光度計 ultraLYZE VUV

  • 產(chǎn)地
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產(chǎn)品簡介

ultraLYZE VUV 是一款高性能真空紫外(VUV)光譜測量系統(tǒng),集透射與反射測量于一體,專為115–350 nm深紫外波段精密分析設(shè)計。采用全自動操作模式(turn-key),支持高真空(<10?? mbar)或氮氣吹掃環(huán)境,滿足材料在極端條件下的光學(xué)特性表征需求,精度穩(wěn)定優(yōu)于0.3%,為科研與工業(yè)提供可靠數(shù)據(jù)支撐。


為何選擇 ultraLYZE VUV?

  • 全波段覆蓋

    115 nm起測,突破常規(guī)紫外限制,直達深紫外臨界波段 

  • 工業(yè)級精度

    雙光路校準(zhǔn)技術(shù)實現(xiàn)<0.3%超穩(wěn)重復(fù)性,適用于質(zhì)檢場景 

  • 環(huán)境適應(yīng)性

    高真空/惰性氣體雙模式,應(yīng)對VUV苛刻測量條件 

  • 模塊化未來

    按需升級偏振、微區(qū)、自動化功能,保護設(shè)備投資價值

適用場景:光學(xué)鍍膜實驗室、半導(dǎo)體光刻研發(fā)中心、空間載荷研制單位、新型能源材料評估平臺



關(guān)鍵規(guī)格參數(shù)

參數(shù)

指標(biāo)

波長范圍

115–350 nm

測量模式

透射(T)、反射(R)

測量精度

R/T < 0.3%

波長分辨率

優(yōu)于0.1 nm

真空環(huán)境

<10?? mbar 或 N?吹掃

探測器

角度可調(diào)PMT(含參考光路)

可擴展模塊

偏振器、聚焦光學(xué)、樣品傳遞系統(tǒng)


核心結(jié)構(gòu)與技術(shù)特點

模塊

技術(shù)優(yōu)勢

VUV光源

氘燈光源,實現(xiàn)115-350 nm連續(xù)波長發(fā)射

VUV單色器

Seya-Namioka型光柵單色器,旋轉(zhuǎn)光柵實現(xiàn)波長選擇,針對100-300 nm波長具有非常高的衍射效率

雙光路探測系統(tǒng)

角度可調(diào)PMT探測器 + 參考光路實時校準(zhǔn),確保R/T測量精度<0.3%

環(huán)境控制系統(tǒng)

高真空(<10?? mbar)或氮氣吹掃可選,消除氧氣對VUV波長吸收及樣品的表面污染

模塊化擴展

偏振器:支持S/P偏振測量

測量光束聚焦:微區(qū)分析和樣品mapping

樣品傳遞系統(tǒng):多樣品切換


典型應(yīng)用領(lǐng)域

  • 先進光學(xué)材料

    VUV抗反射膜、氟化鎂(MgF?)/氟化鈣(CaF?)透鏡的透射率與反射損耗分析。

  • 半導(dǎo)體光刻技術(shù)

    光刻膠在EUV/VUV波段的吸收特性與均勻性評估(支持193 nm/157 nm關(guān)鍵波長)。

  • 空間科學(xué)與天文探測

    空間望遠鏡鏡面涂層在Lyman-α(121 nm)等波段的反射性能驗證。


探索物質(zhì)深紫外響應(yīng)的終極工具——從基礎(chǔ)研究到產(chǎn)線質(zhì)檢,ultraLYZE VUV定義VUV光譜新標(biāo)準(zhǔn)。







關(guān)鍵規(guī)格參數(shù)

參數(shù)

指標(biāo)

波長范圍

115–350 nm

測量模式

透射(T)、反射(R)

測量精度

R/T < 0.3%

波長分辨率

優(yōu)于0.1 nm

真空環(huán)境

<10?? mbar 或 N?吹掃

探測器

角度可調(diào)PMT(含參考光路)

可擴展模塊

偏振器、聚焦光學(xué)、樣品傳遞系統(tǒng)


核心結(jié)構(gòu)與技術(shù)特點

模塊

技術(shù)優(yōu)勢

VUV光源

氘燈光源,實現(xiàn)115-350 nm連續(xù)波長發(fā)射

VUV單色器

羅蘭圓光柵單色器,選擇光柵實現(xiàn)波長選擇,針對100-300 nm波長具有非常高的衍射效率

雙光路探測系統(tǒng)

角度可調(diào)PMT探測器 + 參考光路實時校準(zhǔn),確保R/T測量精度<0.3%

環(huán)境控制系統(tǒng)

高真空(<10?? mbar)或氮氣吹掃可選,消除氧氣對VUV波長吸收及樣品的表面污染

模塊化擴展

偏振器:支持S/P偏振測量

測量光束聚焦:微區(qū)分析和樣品mapping

樣品傳遞系統(tǒng):多樣品切換




典型應(yīng)用領(lǐng)域

  • 先進光學(xué)材料

    VUV抗反射膜、氟化鎂(MgF?)/氟化鈣(CaF?)透鏡的透射率與反射損耗分析。

  • 半導(dǎo)體光刻技術(shù)

    光刻膠在EUV/VUV波段的吸收特性與均勻性評估(支持193 nm/157 nm關(guān)鍵波長)。

  • 空間科學(xué)與天文探測

    空間望遠鏡鏡面涂層在Lyman-α(121 nm)等波段的反射性能驗證。


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