13.5nm半透半反/分束鏡

EUV 性能 波長(zhǎng): 13.5 nm 反射率: R ~ 30 % 透射率: T ~ 20 % 偏振: s-pol. 帶寬 (FWHM): appr. 2 nm 入射角: 45 degrees 基底 分束器框架材料: Si (100)尺寸: 12.0±0.25 mm x 12.0±0.25 mm 厚度: 525±20 μm 窗口尺寸: 8±0.15 mm x 8±0.15 mm 薄膜材料: Si3

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