極紫外/13.5nm菲涅爾波帶片

襯度材料：SiO2 襯度材料厚度：~250nm支撐薄膜材料：Si支撐薄膜厚度：~200nm支撐薄膜透過率： 預(yù)計(jì)衍射效率>14% @13.5nm主要應(yīng)用方向：相干衍射成像掩模版檢測

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