13.5nm 極紫外光源多層膜收集鏡
超大尺寸、超高精度、耐高溫、13.5nm多層膜收集鏡子。實測反射率高達70%。
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產(chǎn)地
： 德國 -
型號
： 定制 -
品牌
： optiX fab
產(chǎn)品介紹
得益于北京眾星聯(lián)恒科技有限公司在中國X射線、極紫外的專注，近10年的積累，對于極紫外光學技術及中國有較為深入的了解。而德國optiXfab公司于2012年開始商業(yè)化Fraunhofer研究所的Mo/Si多層膜專利技術，至今已經(jīng)給客戶生產(chǎn)了近2萬片鏡片，中大多數(shù)都是半導體工業(yè)的客戶，如LLP光源的收集鏡及Schwarzschild物鏡等。經(jīng)過雙方充分的討論及密切，我們共同決定將在半導體工業(yè)應用成熟的鍍膜技術推廣基于HHG，激光驅動等離子小型極紫外光源的科研應用，針對中國市場聯(lián)合推出的1英寸的高性能13.5nm多層膜鏡片，并在中國辦公室備有庫存，以實現(xiàn)鏡片的快速交付。
激光驅動的等離子極紫外光源通常是4Π發(fā)散的，為了盡量多的收集13.5nm in band光子，通常需要足夠大的收集立體角。我們可供大致700mm口徑的Mo/Si多層膜收集。通過鏡片可以承受極高的溫度，對于被污染的收集鏡子，我們可以提供翻新服務。
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性能參數(shù)
實測反射率曲線
高反
寬帶
翻新前后反射率對比
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